【中国有哪些光刻机上市公司】光刻机作为半导体制造的核心设备，是衡量一个国家科技实力的重要标志。近年来，随着国产芯片产业的快速发展，国内多家企业在光刻机领域加大投入，逐步实现技术突破。以下是对目前中国市场上涉及光刻机相关业务的上市公司的总结。
一、概述
光刻机行业属于高端制造业，技术门槛高、研发投入大。目前，中国在光刻机领域主要由少数几家重点企业主导，这些企业不仅在国内市场占据一定份额，也在国际上逐步提升影响力。以下是部分与光刻机相关的上市公司及其业务范围简要介绍。
二、相关上市公司汇总表
| 公司名称 | 所属行业 | 主营业务 | 备注 |
| 中微公司（SMIC） | 半导体设备 | 制造等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等 | 不直接生产光刻机，但为光刻工艺提供配套设备 |
| 深圳华强（SHE:000062） | 电子元器件 | 涉及光刻胶及相关材料供应 | 部分产品与光刻工艺相关 |
| 芯源微（688037） | 半导体设备 | 提供光刻胶涂布显影设备 | 属于光刻工艺中的关键设备供应商 |
| 沪硅产业（688126） | 半导体材料 | 生产硅片，间接支持光刻工艺 | 为光刻机提供基础材料支持 |
| 精测电子（300567） | 半导体检测 | 提供光刻工艺检测设备 | 支持光刻工艺的良率控制 |
| 晶方科技（603005） | 半导体封装 | 涉及光刻工艺在封装中的应用 | 在先进封装中使用光刻技术 |
| 芯碁微装（688630） | 半导体设备 | 提供光刻设备和激光加工设备 | 直接涉及光刻技术应用 |
三、总结
虽然目前中国尚未有完全自主研制并商业化量产高端光刻机的上市公司，但已有多个企业在光刻相关设备、材料及工艺方面取得重要进展。这些企业通过提供配套设备或材料，为中国半导体产业链的完善和光刻技术的发展提供了重要支撑。
未来，随着国家对半导体产业的持续扶持和技术积累的不断深化，中国在光刻机领域的自主创新能力有望进一步提升，更多相关企业也将逐步崭露头角。
如需了解更详细的企业技术路线或市场动态，可进一步查阅各公司公告及行业研究报告。
